Focused Ion Beam
Was kann ein Focused Ion Beam?
Die Arbeitsgruppe von Prof. Dr. Lorke nutzt ein FIB/SEM DualBeam™ Mikroskop der Firma FEI als „Nanowerkbank“ zur Probenpräparation im Nanometer-Maßstab. Mit diesem Gerät ist es zum einen - wie bei einem klassischen Rasterelektronenmikroskop (SEM) - möglich Aufnahmen von Proben mit sehr hoher Auflösung zu erstellen und zum anderen Proben mit Hilfe von Gallium-Ionen zu strukturieren. Die Abkürzung FIB steht für Focused Ion Beam. Beide Möglichkeiten sind hier in einem Gerät vereinigt.
Abbildung 1: Elektronenmikroskopische Aufnahme eines mit dem Ionenstrahl präparierten Querschnitts durch eine Elektrode für eine Li-Batterie Draufsicht (links), Ansicht des Querschnitts (rechts).
Weiterführende Informationen
Focused Ion Beam in ICAN
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Abbilden mittels SEM und FIB
Das Abbilden von Probenoberflächen ist mit dem Elektronenstrahl sowie dem Ionenstrahl bis zu einer Auflösung von ca. 1 nm bzw. 5 nm möglich.
![](/imperia/md/images/cenide/ican/fib/fittosize__600_0_f2ea5ebb64d91c081a0b2884e2637c26_fib_abb2a.jpg)
Schneiden und Strukturieren
Mit Hilfe des Ionenstrahls ist es möglich, eine laterale Strukturierung von Proben vorzunehmen, aber auch in die Probe hinein zu schneiden, um Querschnitte der Proben zu untersuchen.
![](/imperia/md/images/cenide/ican/fib/fittosize__600_0_11fc35546d16ac3226c061a5d53fbd0d_fib_abb5.png)
Lokale Materialdeposition
Zusätzlich gestattet dieses Gerät die Deposition von Platin, als leitendes Material, und Siliziumoxid, als isolierendes Material.
![](/imperia/md/images/cenide/ican/fib/fittosize__600_0_379257ba21d11013a470412489214a71_fib_abb6a.png)
Präparation von TEM-Lamellen
Für eine Untersuchung mittels TEM ist es notwendig eine sehr dünne Lamelle zu präparieren. Dies kann auf herkömmliche Weise durch Polieren erreicht werden.
Ihr Ansprechpartner für die FIB:
ICAN - Interdisciplinary Center for Analytics on the Nanoscale
47057 Duisburg
Funktionen
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Technische/r Mitarbeiter/in, Center for Nanointegration Duisburg-Essen
Aktuelle Veranstaltungen
Keine aktuellen Veranstaltungen.
Vergangene Veranstaltungen (max. 10)
Keine vergangenen Veranstaltungen.
Die folgenden Publikationen sind in der Online-Universitätsbibliographie der Universität Duisburg-Essen verzeichnet. Weitere Informationen finden Sie gegebenenfalls auch auf den persönlichen Webseiten der Person.
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One-step synthesis of carbon-supported electrocatalystsIn: Beilstein Journal of Nanotechnology Jg. 11 (2020) S. 1419 - 1431Online Volltext: dx.doi.org/ (Open Access)
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The ultramicrotome as a tool for the preparation of ultra-thin samples for TEM investigationsIn: ICAN Notes Jg. 4 (2021)Online Volltext: dx.doi.org/ Online Volltext (Open Access)