03.03.2009 - 13:53:45

Die „Nanowerkbank“

Materialbearbeitung auf der Nanometerskala mit einer Focused Ion Beam (FIB).

Mit Hilfe eines fokussierten Ionenstrahls lässt sich mit einer Genauigkeit von wenigen Nanometern (5-10 nm) Material abtragen und deponieren. (...)

Möglich macht es ein sogenanntes fokussiertes Ionenmikroskop (engl. Focused Ion Beam - kurz FIB), bei dem ein Gallium-Ionenstrahl mit Hilfe magnetischer und elektrischer Linsen auf das zu bearbeitende Werkstück (die Probe) fokussiert wird. Seit März 2009 verfügt der Fachbereich Physik an der Universität Duisburg-Essen über ein solches Großgerät in einer Dual-Beam-Ausführung.

Pressemeldung der Universität:
https://www.uni-due.de/de/presse/meldung.php?id=1587