Uni-Colleg im Sommersemester 2007

Jeweils mittwochs, 19.30 Uhr, Campus Duisburg, Raum MD 162

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9. Mai: Professor Dr. rer. nat. Burak Atakan

Dünne Schichten aus der Gasphase (CVD): Von Diamanten, Halbleitern und Keramiken

Dünne Schichten auf der Oberfläche können z.B. das Aussehen oder die Härte eines Werkstoffs entscheidend verändern. Manchmal genügt aber auch nur eine geringe Menge eines wertvollen Materials um eine Funktion zu erfüllen, so dass die Herstellung als dünne Schicht auf einer günstigen Unterlage ausreichend ist.

Mit Hilfe chemischer Reaktionen von Gasen können Feststoffschichten unterschiedlichster Materialien erzeugt werden. Das Verfahren ist relativ einfach, der Wahl geeigneter Prozessparameter kommt jedoch eine entscheidende Bedeutung zu, damit die erwünschte Schicht erzeugt wird. Um aus der Vielzahl der möglichen Bedingungen die geeigneten zu wählen, müssen die zugrunde liegenden physikalisch-chemischen Prozesse verstanden werden. Anhand einiger Beispiele werden diese Aspekte etwas genauer beleuchtet.

Neben der Erzeugung von Diamantschichten mit Hilfe von Schweißbrennern, wird auch die Erzeugung von halbleitenden oder keramischen Materialien für unterschiedliche Anwendungen diskutiert.