Jeweils mittwochs, 19.30 Uhr, Campus Duisburg, Raum MD 162

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9. Mai 2012: Prof. Dr.-Ing. Holger Vogt
Moderne Silizium-Mikrosystemtechnik und -Aufbautechnik 

Sensoren bilden die Schnittstelle zwischen der Umwelt und der Elektronik. Umweltdaten werden aufgenommen und in elektrische Signale verwandelt. Werden solche Gebilde mit den Techniken der Halbleiterfertigung hergestellt und gar mit der Elektronik integriert, spricht man von Mikrosystemen.

Im Auto sind wir umgeben von diesen Sensoren. Auch im Gebäude kommen Sensoren vermehrt zum Einsatz, ein aktuelles Forschungsthema im InHaus in Duisburg. Die Medizintechnik profitiert erheblich von den Möglichkeiten der Mikrosysteme.

Sensorprinzipen, Herstellung und Anwendung von Mikrosystemen sind Themen des Vortrags, aber auch deren Aufbau- und Verbindungstechnik. In typischen elektronischen Bauelementen wird der Siliziumchip dicht in ein Gehäuse verpackt, das den Chip vor der Umgebung schützt. Ein Sensor erfordert nun aber, dass die Umwelt, z.B. das Licht oder das Blut, direkt an das Sensorelement gelangt. Damit das Bauelement trotzdem dauerhaft und zuverlässig arbeitet, sind innovative Lösungen gefragt.