ICAN: Sputter Coater ACE 600
Sputter Coater ACE 600
Das Leica EM ACE600 ist ein Hochvakuum-Beschichtungssystem, mit dem extrem dünne, feinkörnige Metallfilme und elektrisch leitfähige Kohlenstoffbeschichtungen für die hochauflösende FE-REM und TEM-Analyse hergestellt werden können. Maximal zwei gewinkelte Quellen können konfiguriert werden. Für die optimale Verteilung ist eine automatische Tischdrehung in das System integriert. Mithilfe der Quarzmessung wird die Schichtdicke ermittelt. Für die gleichmäßige Beschichtung ist ein Tisch mit Planetengetriebe verfügbar.
Die Proben werden entweder nach dem Sputterverfahren mit Metall beschichtet, wobei das Targetmaterial durch Argonplasma erodiert wird, oder mittels Elektronenstrahlverdampfung, wobei die Kohlenstoffbeschichtung durch einen Kohlefaden erfolgt.
Jedes Material, das nicht durch Vakuum, Argonplasma oder die erzeugte Wärme beschädigt wird, kann beschichtet werden.
Spezifikationen:
| Sputterquellen: | Kohlenstoff (Kohlefaden) und Chrom (Cr-Target) |
| Beschichtungszeit: | 1-1800 sec. |
| Beschichtungsdicke: | 1-1000 nm |
| Folientarget: | 54 mm max. Durchmesser, 1 mm Dicke |
| Stage Winkel: | +/-60° |
| Target Winkel (Quellenwinkel zum Probentisch): | 25° |
| Arbeitsabstand: | min. 300 mm, max. 100 mm |
| Drehbarer Probentisch: | 24 Positionen für 12,7 mm SEM-Probenteller |
| Vakuumsystem: | Turbomolekularpumpe und Membranpumpe |
Quartz-Schichtdickenmessung (QSG)
Tisch mit Planetengetriebe
Touchscreen-Bedienfeld
Automatische oder manuelle Höhen-und Neigungsverstellung
Trennen:
Dünnen:
- Elektrolytische Poliereinheit
- Focused Ion Beam (FIB)
- Ion Slicer (IS)
- Kryomikrotom
- Muldenschleifer
- Präzisions-Ionen-Poliersystem (PIPS)
Polieren:
Beschichten:
Reinigen:
- Plasma Cleaner
Trocknen:
- Gefriertrockner
- Kritischer-Punkt-Trockner (CPD)