ICAN: Cross Section Polisher
Cross Section Polisher
Der Cross Section Polisher ist ein Präparationssystem zur Herstellung von Probenquerschnitten für REM-, EPMA- und SAM-Anwendungen. Weiche, harte und Verbundwerkstoffe können mit einem Minimum an Probenschädigung (z.B. Verformung) präpariert werden.
Der Cross Section Polisher erzeugt glatte Oberflächen in fast jedem Material wie Metallen, Keramiken, Glas und Papier sowie weichen Werkstoffen wie Kunststoffen.
Ein Ar-Ionenstrahl poliert Querschnitte über einem ca. 1 mm² großen Bereich. Durch den streifenden Einfall des Ionenstrahls wird der Eintrag von Ar-Ionen in die Oberfläche minimiert. Die Probe wird senkrecht zum Ar-Ionenstrahl orientiert und kann durch eine variable Blende zum Teil abgeschattet werden. Der feine Ionen-Strahl von einem halben Millimeter im Durchmesser durchtrennt harte und weiche Werkstoffe gleichermaßen an der durch die Position der Blende vorgegebenen Kante. Ein Einbetten der Probe ist in der Regel nicht nötig.
Spezifikationen:
| Beschleunigungsspannung: | 2-6kV |
| Ionenstrahlbreite (FWHM – full width half maximum): | 500µm (bei 6kV an Si Probe) |
| Abtragungsgeschwindigkeit: | 100µm/ Stunde bei Si |
| Probengröße (max.): | 11mm (B) x 10mm (L) x 2mm (H) |
| Probenverfahrwege: | +/- 10mm (X-Achse), +/- 3mm (Y-Achse) |
| Probenrotation: | +/- 5° |
| Gas für Ionenstrahl: | Argon |
| Druckmesser: | Penningröhre |
| Hauptvakuumpumpe: | Turbomolekularpumpe (TMP) 10-4 Pa |
| Vorvakuumpumpe: | Rotationspumpe (RP) |
| Positionierungskamera: | Vergrößerung 70 fach (auf 16,5 cm Display) |
Trennen:
Dünnen:
- Elektrolytische Poliereinheit
- Focused Ion Beam (FIB)
- Ion Slicer (IS)
- Kryomikrotom
- Muldenschleifer
- Präzisions-Ionen-Poliersystem (PIPS)
Polieren:
Beschichten:
Reinigen:
- Plasma Cleaner
Trocknen:
- Gefriertrockner
- Kritischer-Punkt-Trockner (CPD)