ICAN: Ion Slicer
Ion Slicer
Der Ion Slicer (IS) dient der Präparation von Dünnschichtfilmen mit Argon-Ionen.
Mit dieser Methode können Proben für TEM-,STEM-,SEM- und Mikrosondenuntersuchungen ohne die Verwendung von Lösungsmitteln oder Chemikalien hegestellt werden.
Die Bauweise des IS mit verfahrbarer Abschirmblende, die dem Probenschutz dient, erlaubt einen flachen Einfallswinkel des Ionenstrahles von 0° bis 6°, was die Strahlschädigung der Probe und die damit verbundene Amorphisierung reduziert.
Die Probe kann während des Polierprozesses um ±30° gekippt werden, um einen homogenen Polierbereich zu präparieren.
Spezifikationen:
| Beschleunigungsspannung: | 1-8 kV |
| Abtragungsgeschwindigkeit: | 5µm/min |
| Probengröße: | 0.8 mm (B )x 2.8 mm (L)x 0.1 mm (H) |
| Probenrotation: | +/-30° |
| Gas für Ionenstrahl: | Argon |
| Arbeitswinkel des Ionenstrahles: | 0°-6° |
| Druckmesser: | Penningröhre |
| Hauptvakuumpumpe: | Turbomolekularpumpe (TMP) |
| Vorvakuumpumpe: | Rotationspumpe |
Trennen:
Dünnen:
- Elektrolytische Poliereinheit
- Focused Ion Beam (FIB)
- Ion Slicer (IS)
- Kryomikrotom
- Muldenschleifer
- Präzisions-Ionen-Poliersystem (PIPS)
Polieren:
Beschichten:
Reinigen:
- Plasma Cleaner
Trocknen:
- Gefriertrockner
- Kritischer-Punkt-Trockner (CPD)