ICAN: Präzisions-Ionen-Poliersystem
PIPS
Die PIPS ist eine Präzisions-Ionen-Polier-Anlage, um TEM-Proben in hoher Qualität herzustellen. Die einfache Bedienung der PIPS wird über einen Touch Screen ermöglicht. Die zwei Argon-Ionenquellen lassen sich variabel und unabhängig voneinander in einem Winkelbereich von +/-10° kippen. Die Ionenenergie ist zwischen 100 eV und 8keV wählbar und eine Fokuselektrode erlaubt auch in niedrigen Energiebereichen <3 keV und flachen Winkeln von < 3º hohe Abtragsraten.
Die PIPS hat eine Whisperlok zum schnellen und einfachen Probenwechsel und Probenhalter für doppelseitige Dünnung bei niedrigem Einstrahlwinkel. Ebenfalls gibt es einen X,Y Probentisch (+/-0,5 mm) zur präzisen Zentrierung der zu dünnenden Probenbereiche, insbesondere zur Nachpräparation von FIB-Proben.
Ein digitales Zoom-Mikroskop ermöglicht die Überwachung des Dünnungsprozesses durch Video- und Bildaufnahmen in DigitalMicrograph.
Spezifikationen:
| Ioneneinfallwinkel: | 2x +/-10° unabhängig voneinander einstellbar |
| Ionenquelle: | 0.1 - 8 keV |
| Ionenstromdichte: | : max. 10 mA/cm² |
| X,Y-Probenverschiebung | +/- 0,5 mm |
| Probenschleuse: | Gatan Whisperlok, Probenwechselzeit (ungekühlt) < 1min |
| Probentemperatur : | variabel zwischen -120°C und +50°C |
| Vakuumsystem: | ölfrei, Membranpumpe (DP) und Turbopumpe (MDP) |
Strahlmodulation bietet die Möglichkeit sowohl einseitig-als auch beidseitig und in zwei Sektoren zu dünnen
Trennen:
Dünnen:
- Elektrolytische Poliereinheit
- Focused Ion Beam (FIB)
- Ion Slicer (IS)
- Kryomikrotom
- Muldenschleifer
- Präzisions-Ionen-Poliersystem (PIPS)
Polieren:
Beschichten:
Reinigen:
Trocknen:
- Gefriertrockner
- Kritischer-Punkt-Trockner (CPD)