Präparation von TEM-Lamellen

Für eine Untersuchung mittels TEM ist es notwendig eine sehr dünne Lamelle zu präparieren. Dies kann auf herkömmliche Weise durch Polieren erreicht werden. Es ist aber auch möglich mittels des Ionenstrahls eine solche TEM-Lamelle heraus zu schneiden (siehe Abb. 1 links).  Ein wesentlicher Vorteil dieser Methode ist es, dass man sich vorher mittels des SEM genau die Stelle aussuchen kann, an der die TEM-Lamelle präpariert werden und somit die Analyse via Raster-Transmissionselektronenmikroskopie (STEM) stattfinden soll. Zusätzlich bietet das Gerät auch direkt die Möglichkeit einer STEM-Analyse einer solchen TEM-Lamelle. Ein entsprechendes Ergebnis ist in Abbildung 1 (rechts) dargestellt. Man erreicht maximale Auflösungen im Bereich von ca. 0,8 nm.