Das TenuPol-5 findet speziell zur TEM-Präparation für elektrisch leitfähige Proben , hauptsächlich Metalle , Anwendung und besteht aus zwei separaten Einheiten, der Steuerungseinheit und der Polier-bzw.Dünneinheit. Das TenuPol-5 ist aus korrosionsbeständigen Materialien hergestellt. Deshalb können die meisten Chemikalien zum chemischen Polieren benutzt werden. Perchlorsäure und andere stark korrodierende Elektrolyte sind verwendbar. Die Temperatur des Elektrolyten wird über den Kryostaten geregelt.

Die Probe wird gleichzeitig auf beiden Seiten poliert, um Gefügeschädigungen z.B. Verformungen soweit wie möglich zu vermeiden. Im Augenblick des Auftretens der Perforation kann der Poliervorgang durch ein Infrarot-Sensorsystem automatisch gestoppt werden und die Probe ist für die TEM-Untersuchung bereit.