Ziel des Studienprogramms NanoEngineering ist die berufsqualifizierende Ausbildung von Absolventen/Absolventinnen in dem hochinterdisziplinären Feld Nanotechnologie. Dabei sollen die Studierenden vom ersten Semester an auf eine Tätigkeit im Umfeld dieser Schlüsseltechnologie des 21. Jahrhunderts vorbereitet werden. Dies wird durch eine Kombination von Grundlagenfächern der Natur- und Ingenieurwissenschaften und spezifischen Veranstaltungen zum Thema Nanotechnologie ermöglicht. Der Bachelor-Studiengang führt einerseits zu einem ersten berufsqualifizierenden Abschluss, andererseits befähigt er zur Fortsetzung des Studiums im konsekutiven, forschungsorientierten Master-Studiengang.

Schwerpunkte des Studienprogramms NanoEngineering sind dabei die Nanoprozesstechnologie und die Nano(opto)elektronik. Sie bilden auch die beiden Vertiefungsrichtungen im Master-Studiengang. Dabei werden alle relevanten Disziplinen der Natur- und Ingenieurwissenschaften (Physik und Chemie, Elektrotechnik und Maschinenbau) beteiligt. Der Master-Studiengang soll die im Bachelor-Studiengang erworbenen Qualifikationen vertiefen und darüber hinaus Fähigkeiten vermitteln, die dazu dienen, wissenschaftliche Methoden auf dem Gebiet der Nanotechnologie nicht nur für komplexe Probleme anzuwenden, sondern auch zu analysieren und weiterzuentwickeln. Je nach Wahl der Vertiefungsrichtung erfolgt dabei eine ausgeprägte exemplarische Schwerpunktsetzung auf einem der Anwendungsgebiete.