XPS/CEMS-Anlage AG Wende
X-ray photoelectron spectrosopy (XPS), Conversion electron Mössbauerspectroscopy (CEMS) XPS/CEMS
Die Anlage steht im Raum MD 441 (Durchwahl -2974) und dient vornehmlich der Rumpfniveau-Photoelektronen-Spektroskopie und der Konversionselektronen-Mössbauerspektroskopie. In der Anlage können Proben mittels Molekularstrahlepitaxie (MBE) hergestellt und in situ untersucht werden.
Die Anlage wurde mit einer leistungsfähigen Ionengetterpumpe ausgerüstet, um bei einem Basisdruck im Bereich von 10-10-10-11mbar arbeiten zu können. Eine speziell angefertigte "baffle chamber" verhindert das Eindringen von Ionen in die Hauptkammer, sodass hochempfindliche in-situ Konversionselektronen-Mössbauerspektroskopie betrieben werden kann. Die Ausrüstung der Kammer umfasst derzeit:
- hemisphärischer Halbkugelanalysator mit Detektor
- Elektronenkanone, die in Verbindung mit dem Halbkugelanalysator Auger-Elektronenspektroskopie (AES) erlaubt
- Röntgenröhre, die in Kombination mit dem hemisphärischen Analysator zur Aufnahme von Rumpfniveau-Photoelektronen-Spektren (XPS) dient
- Konversionselektronen-Mössbauerspektrometer (CEMS) mit Be-Fenster für in situ Untersuchungen im Temperaturbereich 40 - 400 K mit elektromagnetischem Antrieb und Channeltron als Detektor
- RHEED-Optik - das RHEED-Beugungsbild kann auf dem Fluoreszenzschirm während des Aufdampfens verfolgt und mit einer CCD-Kamera aufgenommen werden
- LEED-Optik zur Untersuchung der Qualität der Oberflächenstrukturen und Morphologie vor und nach der Bedampfung
- Sputter-Kanone zur Reinigung der Substrate mittels Ar-Ionenbeschuss
- bis zu 6 Verdampferzellen, rechnergesteuert, nach Bedarf Elektronenstrahlverdampfer oder aus Al2O3-Tiegeln bestehende, wassergekühlte Widerstandsöfen
- Probenschleuse
- Manipulator, der eine Bewegung der Probe in die drei Raumrichtungen und eine Rotation um die Polar- und Azimutalachse ermöglicht
- Probenheizung bis 1000 K
- lHe Durchflusskryostat bis 30 K für CEMS-Messungen