Der Plasmacleaner TPS 316 der Firma Binder Labortechnik erlaubt die Reinigung von TEM-Proben.

Die zu reinigende Probe wird zunächst in den TEM-Probenhalter eingebaut und dann in den Plasmacleaner eingeschleust. Nach der Evakuierung wird dann ein Sauerstoff/Argon-Plasma gezündet, welches die Probe von Kohlenstoffverbindungen reinigt. Hierbei ist zu beachten, dass sich das Verfahren hauptsächlich für Fiblamellen und konventionell präparierte Querschnittsproben eignet, da der Kohlenstofffilm herkömmlicher TEM-Netzchen ebenfalls angegriffen bzw. aufgelöst wird.

Ebenfalls integriert sind zwei weitere Rezipienten die eine Lagerung/Trocknung der TEM-Halter und Proben bei einem Vakuum im Bereich von 10E-6 mbar ermöglichen.