Ulvac-Phi 710 SAM: Spezifikation
Gerätespezifikationen
| Gerätetyp: | ULVAC-PHI 710 SAM |
| Gerätebezeichnung: | Scanning Auger Nanoprobe |
| Bestmögliche Ortsauflösung: | 7 nm |
| Bestmögliche spektrale Auflösung: | 0.1% des elastischen Peaks |
| Probentemperaturbereich: | RT |
| Sputterquellen: | 0.1 - 5 kV Ar+ Ionen |
| Maximale Probengröße (BxLxH): | ca. 50 x 50 x 10 mm3 |