Molekularstrahlepitaxie (MBE), Conversion electron Mössbauerspectroscopy (CEMS) MBE/CEMS

Die Anlage steht im Raum MD 442 (Durchwahl -2975) und dient der Probenpräparation mittels MBE. In der Anlage können präparierte Proben in situ mit CEMS, AES, LEED und RHEED untersucht werden.

Die Anlage verfügt derzeit über folgende Ausstattung:

• CEMS-Aufbau mit elektromagnetischem Antrieb, Be-Fenster und Channeltron
• Augerspektrometer (AES)
• RHEED kann auf dem Fluoreszenzschirm während des Aufdampfens verfolgt und mit einer CCD-Kamera aufgenommen werden
• LEED-Optik
• bis zu fünf Knudsenzellen mit Al₂O₃-Tiegeln
• Elektronenstrahlverdampfer
• atomare Wasserstoffquelle z.B. zum Glätten der Probe oder auch zum Passivieren von Halbleiteroberflächen durch "dangling bond" Sättigung.
• Quadrupolmassenspektrometer
• Sputter-Kanone zur Reinigung der Substrate
• Manipulator zur Bewegung der Probe in die drei Raumrichtungen und Rotation um die Polar- und Azimuthalachse
• Probentemperatur 80 - 900 K