Konferenzbeiträge 2000
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2000 und davor |
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- W. Mertin, S.-W. Bae, U. Behnke, R. Weber, E. Kubalek
"Contactless voltage and current contrast imaging in micro- and nanoscale devices with scanning microscope based test systems"
26th International Symposium for Testing and Failure Analysis, ISTFA 2000, 12. – 16. November 2000, Bellevue, WA, USA
- U. Behnke, W. Mertin, E. Kubalek
"Cross-talk in electric force microscopy testing of parallel sub-micrometer conducting lines"
11th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis, ESREF 2000, Oktober 2000, Dresden
- R. Weber, W. Mertin, E. Kubalek
"Voltage-influence of biased interconnection line on integrated circuit-internal current measurements via magnetic force microscopy"
11th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis, ESREF 2000, Oktober 2000, Dresden
- R. Weber, W. Mertin, E. Kubalek
"Entwicklung eines Meßplatzes zur Bestimmung von Strömen in integrierten Bauelementen"
Gerhard-Mercator-Universität Duisburg, Statusseminar zum BMBF-Verbundprojekt: Neue Verfahren zur Mikrocharakterisierung von Halbleiterbauelementen, 21. Juni 2000
- U. Behnke, W. Mertin, E. Kubalek, G. Becker, S. Görlich, C. Boit
"Schaltungsinterner Test an Submikrometerstrukturen mit der elektrischen Kraftmikroskopie"
18. Diskussionsitzung “Fehlermechanismen bei kleinen Geometrien” des ITG-Fachausschusses 8.5, Bad Bayersoien, 04.-05. Mai 2000
- R. Weber, W. Mertin, E. Kubalek
"Stromdetektion mittels Magnetkraftmikroskopie - MKM"
27. Arbeitssitzung der ITG Fachgruppe 8.5.1, Duisburg, 25. Januar 2000
- S. W. Bae, K. Schiemann, W. Mertin, E. Kubalek, M. Maywald, G. Becker, S. Görlich, C. Boit
"Kontaktlose Bestimmung von elektrischen Strömen in integrierten Schaltkreisen"
27. Arbeitssitzung der ITG Fachgruppe 8.5.1, Duisburg, 25. Januar 2000
- U. Behnke, W. Mertin, E. Kubalek
"Dynamische Spannungsmessungen an parallelen Submikrometerleitungen mittels elektrischer Rasterkraftmikroskopie (EKM)"
27. Arbeitssitzung der ITG Fachgruppe 8.5.1, Duisburg, 25. Januar 2000
- U. Behnke, W. Mertin, E. Kubalek
"Voltage contrast measurements with an electric force microscope based test system"
3rd International Conference and Exibition Micro Materials MicroMat 2000, 17. - 19. April 2000, Berlin
- S.-W. Bae, K. Schiemann, W. Mertin, E. Kubalek
"Contactless current detection at megahertz band width via implementation of the heterodyne mixing technique"
3rd International Conference and Exibition Micro Materials MicroMat 2000, 17. - 19. April 2000, Berlin
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- S.-W. Bae, R. Weber, W. Mertin, E. Kubalek
"Entwicklung eines Meßplatzes zur Bestimmung von Strömen in integrierten Bauelementen"
Infineon Technologies AG, München, Statusseminar zum BMBF-Verbundprojekt: Neue Verfahren zur Mikrocharakterisierung von Halbleiterbauelementen, 03. Dezember 1999, München
- V. Wittpahl, C. Ney, U. Behnke, W. Mertin, E. Kubalek
"Quantitative high frequency electric force microscope testing of monolithic microwave integrated circuits at 20 GHz"
10th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis, ESREF 99, Oktober 1999, Frankreich
- U. Behnke, B. Wand, W. Mertin, E. Kubalek
"Spannungskontrast-Messungen mittels elektrischer Kraftmikroskopie an Submikrometer-Leiterbahnstrukturen"
26. Arbeitssitzung der ITG Fachgruppe 8.5.1, Erlangen, 29. Juni 1999
- S. Bae, K. Schiemann, W. Mertin, E. Kubalek, M. Maywald
"Eine Rastersonden-Strommeßtechnik zur kontaktlosen Bestimmung von Strömen in Leiterbahnen"
17. Diskussionsitzung “Fehlermechanismen bei kleinen Geometrien” des ITG-Fachausschusses 8.5, Bad Bayersoien, 11.-12. Mai 1999
| 2000 | 99 | 98 | 97 | 96 | 95 | davor
- W. Mertin, A. Leyk, U. Behnke, V. Wittpahl
"Contacless gigahertz testing"
International Test Conference 1998, October 1998, Washington, D.C., USA
- W. Mertin, J. Bangert, A. Klein, U. Behnke, V. Wittpahl, E. Kubalek
"Messung elektrischer Signale in Mikrobauteilen mit dem Rastersonden-mikroskop"
18. Tagung des DVM-Arbeitskreises Rastermikroskopie, 24./25. November 1998, München
- V. Wittpahl, U. Behnke, B. Wand, W. Mertin
"Cantilever influence surppression of contactless IC-testing by electric force microscopy"
European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis, ESREF 98, Oktober 1998, Dänemark
- S.-W. Bae, A. Schlensog, W. Mertin, E. Kubalek
"A novel test method for contactless quantitative current measurement via scanning magneto-resistive probe microscopy"
European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis, ESREF 98, Oktober 1998, Dänemark
- W. Mertin
"Entwicklung eines Meßplatzes zur Bestimmung von Strömen in integrierten Bauelementen"
1. Arbeitstreffen des überregionalen Kompetenzzentrums ‘Nanoanalytik’, 28. September 1998, Münster
| 2000 | 99 | 98 | 97 | 96 | 95 | davor
- S. Heisig, H. U. Danzebrink, A. Leyk, W. Mertin, S. Münster, E. Oesterschulze
"Monolithic gallium arsenide cantilever for scanning near-field microscopy"
Fourth International Conference on Near-Field Optics (NFO-4), 9.-13.2.1997, Jerusalem, Israel
- M. Stopka, S. Münster, T. Leinhos, C. Mihalcea, W. Scholz, A. Leyk, W. Mertin, E. Oesterschulze
"Micromachined probes for high frequency scanning force microscopy and scanning thermal microscopy"
Optoelectronics 97 Integrated Devices & Applications, 8.-14.2.1997, San Jose, CA, USA
- J. Bangert, S. Kasim, W. Mertin, E. Kubalek
"Micromachined probes for high frequency scanning force microscopy and scanning thermal microscopy"
Optoelectronics 97 Integrated Devices & Applications, 8.-14.2.1997, San Jose, CA, USA
- W. Mertin, S.-W. Bae, J. Bangert, V. Wittpahl, E. Kubalek
"Anforderungen an das Design von Meßsonden für die Rastersonden-Spannungs/Strom-Meßtechnik"
21. Arbeitssitzung der ITG Fachgruppe 5.6.1, Mannheim, 17. Februar 1997
- V. Wittpahl, P. Szemenyei, W. Mertin, E. Kubalek
"Untersuchungen des Hebelarmeinflusses auf die schaltungsinterne elektrische Signalverlaufserfassung mit dem Rasterkraftmikroskop"
15. Diskussionsitzung “Fehlermechanismen bei kleinen Geometrien” des ITG-Fachausschusses 8.5, Bad Bayersoien, 6.-7. Mai 1997
- W. Mertin, E. Kubalek
"Electrical force microscopy for failure analysis of microelectronic circuits"
International Conference on Scanning Probe Microscopy as a Microsystem, 5. - 7. Juni 1997, Krobielowice, Polen
- S.-W. Bae, A. Schlensog, W. Mertin, E. Kubalek
"Entwicklung einer kontaktlosen Rastersonden-Strom-Meßtechnik mit einem Giant Magneto-Resistive Sensor (GMR-Sensor)"
Siemens AG, München, 15. Oktober1997
- S.-W. Bae, A. Schlensog, W. Mertin, E. Kubalek
"Einsatz eines GMR-Sensors zur Strombestimmung in IC’s"
Siemens AG, Erlangen, 15. Oktober1997
| 2000 | 99 | 98 | 97 | 96 | 95 | davor
- S. Kasim, J. Bangert, W. Mertin, E. Kubalek
"Kontaktlose und ortsaufgelöste Bestimmung elektrischer Ströme innerhalb mikroelektronischer Bauelemente: Erste Experimente"
20. Arbeitssitzung der ITG Fachgruppe 5.6.1, München, 8. Juli 1996
- C. Böhm, M. Otterbeck, S. Lipp, L. Frey, R. Reuter, A. Leyk, W. Mertin, F. J. Tegude, E. Kubalek
"Design and characterization of integrated probes for millimeter wave applications in scanning probe microscopy"
1996 IEEE MTT-S International Microwave Symposium, 17. -21. Juni, San Francisco, USA
| 2000 | 99 | 98 | 97 | 96 | 95 | davor
- W. Mertin, C. Böhm, E. Kubalek
"Verfahren zur topografischen und/oder elektrischen Untersuchung von miniaturisierten Bauelementen"
Workshop on Micro Materials Micro Mat '95, November 28 - 29, 1995, Berlin
- M. Batinic, B. Weisbrodt, W. Mertin, E. Kubalek
"Comparison of measurement results obtained by electron beam testing and indirect electro-optic sampling"
5th European Conference on Electron and Optical Beam Testing of Electronic Devices, August 27-30, 1995, Wuppertal, Germany
| 2000 | 99 | 98 | 97 | 96 | 95 | davor
- C. Böhm, J. Bangert, W. Mertin, E. Kubalek
"Picosecond electro-optic sampling with submicron spatial resolution using a near field scanning optical microscope"
5th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis, ESREF 94, 4 - 7 October 1994, Glasgow, Scotland, UK
- W. Mertin
"Stand der Technik elektrooptischer Testtechniken"
16. Arbeitssitzung der ITG Fachgruppe 5.6.1, Duisburg, 27. Juni 1994
- W. Mertin, A. Leyk, G. David, R. M. Bertenburg, S. Koßlowski, F. J. Tegude, I. Wolff, D. Jäger, E. Kubalek
"Two-Dimensional Mapping of Amplitude and Phase of Microwave Fields inside a MMIC using the Direct Electro-Optic Sampling Technique"
1994 IEEE MTT-S International Microwave Symposium, May 23 - 27, 1994, San Diego, CA, USA
- G. David, S. Redlich, W. Mertin, R. M. Bertenburg, S. Koßlowski, F. J. Tegude, E. Kubalek, D. Jäger
"Two-Dimensional Direct Electro-Optic Field Mapping in a Monolithic Integrated GaAs Amplifier"
23rd European Microwave Conference, Sept. 6 - 10, 1993, Madrid, E
- G. David, S. Redlich, W. Mertin, E. Kubalek, D. Jäger
"Two-Dimensional Field Mapping in Coplanar MMIC-Components Using Electro-Optic Probing"
4th European Conference on Electron and Optical Beam Testing of Electronic Devices, Sept. 1-3, 1993, Zürich, CH
- W. Mertin, A. Leyk, F. Taenzler, T. Novak, G. David, D. Jäger, E. Kubalek
"Characterization of a MMIC by Direct and Indirect Electro-Optic Sampling and by Network Analyzer Measurements"
4th European Conference on Electron and Optical Beam Testing of Electronic Devices, Sept. 1-3, 1993, Zürich, CH
- G. David, S. Redlich, W. Mertin, R. Tempel, E. Kubalek, I. Wolff, D. Jäger
"Electro-Optical Testing of MMICs"
XXIVth General Assembly of the International Union of Radio Science (URSI), Kyoto, Japan, 1993
- W. Mertin, C. Roths, F. Taenzler, E. Kubalek
"Probe Tip Invasiveness at Indirect Electro-Optic Sampling of MMIC"
1993 IEEE MTT-S International Microwave Symposium, June 14-18, 1993, Atlanta, GA, USA
- W. Mertin, C. Böhm, L. J. Balk, E. Kubalek
"Two-Dimensional Field Mapping in MMIC-Substrates by Electro-Optic Sampling Technique"
1992 IEEE MTT-S International Microwave Symposium, June 1-5, 1992, Albuquerque, NM, USA
- W. Mertin, C. Böhm, E. Kubalek
"Messung der elektrischen Feldverteilung in GaAs-Hochfrequenzschaltungen mittels Laserstrahltest"
10. Diskussionssitzung des ITG-Fachausschusses 5.6, Murnau/Obb., 26.-27. Mai 1992
- W. Mertin
"Laserstrahltestsystem zum Einsatz in der Prototypenentwicklung von monolithisch integrierten Mikrowellenschaltungen"
Optoelektronisches Kolloquium, Universität Duisburg, 5. Februar 1992
- W. Mertin, K. D. Herrmann, E. Kubalek, R. Lackmann, G. Weichert, G. Zimmer
"The Capacitive Coupling Error and the Capacitive Coupling Cross Talk in Electron Beam Testing of Passivated IC and Measures for their Reduction"
2nd European Conference on Electron and Optical Beam Testing of Integrated Circuits, Oct. 3-5, 1989, Duisburg, F. R. G.
- W. Mertin, K. D. Herrmann, E. Kubalek
"Electron Beam Testability of Monolithic Microwave Integrated Circuits (MMIC) "
2nd European Conference on Electron and Optical Beam Testing of Integrated Circuits, Oct. 3-5, 1989, Duisburg, F. R. G.
- K. D. Herrmann, W. Mertin, E. Kubalek
"Elektronenstrahl-Testen von höchstintegrierten mikroelektronischen Bausteinen mit Mehrlagenverdrahtung"
20. Kolloquium des Arbeitskreises für Elektronenmikroskopische Direktabbildung und Analyse von Oberflächen (EDO), 13. - 19. Sept. 1987, Bremen