Konferenzbeiträge 2002
2002 |
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- M. Neinhüs, R. Weber, U. Behnke, W. Mertin, E. Kubalek, R. A. Breil, M. Detje, A. Feltz
"Contactless current and voltage measurements in integrated circuits via a needle sensor"
13th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis, ESREF 2002, 7. –11. Oktober 2002, Rimini, Italien
- S. Hamarat, W. Mertin, E. Kubalek
"Einsatz modernster 3D Charakterisierungsverfahren bei der Entwicklung und Fertigung 3D-CSP"
DeltaMed, Statusseminar zum BMBF-Verbundprojekt: Integriertes 3D-Multi Chip Size Packaging-MCSP, 01. Oktober 2002, Friedheim
- W. Mertin, S.-W. Bae, R. Weber, H. Leutfeld, E. Kubalek
"Entwicklung eines Meßplatzes zur Bestimmung von Strömen in integrierten Bauelementen"
VDI, Düsseldorf, Abschlußseminar zum BMBF-Verbundprojekt: Neue Verfahren zur Mikrocharakterisierung von Halbleiterbauelementen, 30. Juli 2002
- S. Hamarat, W. Mertin, E. Kubalek
"Einsatz modernster 3D Charakterisierungsverfahren bei der Entwicklung und Fertigung 3D-CSP"
MicroTec, Statusseminar zum BMBF-Verbundprojekt: Integriertes 3D-Multi Chip Size Packaging-MCSP, 18. Juli 2002, Duisburg
- W. Mertin, S.-W. Bae, R. Weber, E. Kubalek, G. Zimmermann, C. Boit
"Strommmessungen an mikrostrukturierten Bauelementen mit der Rastersonden-Strom-Messtechnik"
Workshop: Highlights der Nanoanalytik-Forschung in Deutschland, 18./19. April 2002, Hamburg
- S. Hamarat, W. Mertin, E. Kubalek
"Einsatz modernster 3D Charakterisierungsverfahren bei der Entwicklung und Fertigung von 3D-CSP"
FORUM MicroTechnology, öffentliches Statusseminar zum BMBF-Verbundprojekt: Integriertes 3D-Multi Chip Size Packaging-MCSP, 16. April 2002, Hannover
- S. Hamarat, W. Mertin, E. Kubalek
"Einsatz modernster 3D Charakterisierungsverfahren bei der Entwicklung und Fertigung 3D-CSP"
IVAM GmbH, Statusseminar zum BMBF-Verbundprojekt: Integriertes 3D-Multi Chip Size Packaging-MCSP, 14. März 2002, Dortmund