Ion Slicer
Ion Slicer
Methode zur Präparation
Beschreibung:
Der Ion Slicer (IS) dient der Präparation von Dünnschichtfilmen mit Argon-Ionen.
Mit dieser Methode können Proben für TEM-, STEM-, SEM- und Mikrosondenuntersuchungen ohne die Verwendung von Lösungsmitteln oder Chemikalien hegestellt werden.
Die Bauweise des IS mit verfahrbarer Abschirmblende, die dem Probenschutz dient, erlaubt einen flachen Einfallswinkel des Ionenstrahles von 0° bis 6°, was die Strahlschädigung der Probe und die damit verbundene Amorphisierung reduziert.
Die Probe kann während des Polierprozesses um ±30° gekippt werden, um einen homogenen Polierbereich zu präparieren.
Spezifikationen:
Beschleunigungsspannung: | 1-8 kV |
Abtragungsgeschwindigkeit: | 5µm/min |
Probengröße: | 0.8 mm (B )x 2.8 mm (L)x 0.1 mm (H) |
Probenrotation: | +/-30° |
Gas für Ionenstrahl: | Argon |
Arbeitswinkel des Ionenstrahles: | 0°-6° |
Druckmesser: | Penningröhre |
Hauptvakuumpumpe: | Turbomolekularpumpe (TMP) |
Vorvakuumpumpe: | Rotationspumpe |