Desktop REM Geräteklasse

• 2kV bis 15kV Beschleunigungsspannung
• Vergrößerung bis zu 1.000.000
• Schottky-FEG
• Probendurchmesser bis zu 25mm
• Probenhöhe bis zu 100mm
• Variabler Vakuum Modus (niedrig/mittel/hoch)

Detektoren

• 1 - 4 Quadranten Rückgestreuter Elektronen Detektor (BSE)
• 2 - Everhart-Thornley Sekundär Elektronen Detektor (SE)
• 3 - Chemische Zusammensatzung Bestimmung mittels EDX Detektor (SDD 25mm²)

REM laterale Auflösung

• 2.5nm (SE), 4nm (BSE) bei 15kV
• 10nm (SE) bei 3kV

EDX

• Silicon Drift Detector (SDD)
• Kühlung mittels Peltierelement (LN2 frei)
• Aktive Detektorfläche 25mm²

Mikromanipulator installiert im Probencontainer

• MM3A-EM Kleindiek
• XY-Auflösung: <0.5nm
• Z-Auflösung: 0.15nm
• Gas-insertion-system (GIS)

Kontakt:
M. Farle
D. Spoddig