Reinraum
Probenpräparation
![](/imperia/md/images/ag-farle/labore/fittosize__600_0_d5c89669f7d9c35bc92a43ade0c4da83_reinraum2.jpg)
Spezifikationen
- Flowboxen mit mindestens ISO 6(ISO 14644)
- Heizplatte bis 250°C
- Spin Coater mit 8000 U/min
- Ultraschallbad
- Aceton und Isopropanol mit Reinraumqualität
- VE-Wasser
- Kontakt:
Elektronenstrahllithographie
![](/imperia/md/images/ag-farle/slides-1/fittosize__600_0_c0f652a76e3c14ac42f185b3ab19a961_interferenzlithography_006.jpg)
Spezifikationen
- Spin Coater mit 8000 U/min
- Verschiedene positive/negative Fotolacke
- Lackdicke bis zu 1000nm